中国政府はチップサプライチェーンの重要な部分となる独自のEUV光源を望んでいる

国産の極紫外光源（EUV）、あるいはそれほど複雑ではない代替光源を使えば、中国はiPhoneやChatGPTに搭載されているマイクロチップと競合できるマイクロチップを製造できるようになるかもしれない。

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中国の企業、大学、政府機関は、ハイテク産業に不可欠なマイクロチップの製造に使用される米国、オランダ、日本の機械の輸出へのアクセスをますます禁止されている。 しかし、彼らは最先端のシリコンマイクロチップ上の電子経路のエッチングに役立つ国産の極紫外線（EUV）光源の開発を急いでいる。

EUV 光源は、非常に複雑な EUV マシンの一部にすぎません。この部品を組み立てることに成功したのは、オランダの工具メーカー ASML のサンディエゴ関連会社である Cymer だけです。 EUVマシンを使用すると、所有者は、Appleが最新のiPhoneに搭載し、人間のようなテキストを生成できる人工知能を活用した言語モデルであるChatGPTを強化するためにOpenAIが使用する、非常に薄いマイクロチップの製造が可能になります。

Cymer の EUV 光は、溶融スズに高エネルギー レーザーを照射し、その結果生じた光をビームとして集光して、ウェーハのように薄いシリコン チップ上に微細な回路パターンを彫刻することで生成されます。 このような EUV リソグラフィー装置とそれらが依存する光源は、技術的独立性というパズルの重要なピースであり、中国は AI や量子コンピューティング。

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米国政府の圧力を受けて、オランダ政府はASMLがEUVリソグラフィー装置を中国に出荷することを決して許可していない。 現在商業的に使用されている最先端の ASML EUV マシンは、それらを購入する企業に約 1 億 5,000 万ドルの費用がかかります。 2024年に出荷予定の次世代機械の価格は3億ユーロ（3億2,800万ドル）以上になる。 市場調査会社モルドール・インテリジェンスは、2023年のEUVリソグラフィ市場の価値は115億ドル、より広範な半導体装置市場の価値は約1,230億ドルと推定した。

将来の技術競争が激化している証拠として、中国の特許記録によると、過去1年間に清華大学（「中国のMIT」）、南京大学、中国科学院、そして安徽省合肥に本社を置くスペクリエーションと呼ばれる企業が特許を取得したことが示されている。同州はいずれもEUV光源技術の特許を申請している。 専門家らは、誰もが自分に適した仕事を持っていると言う。

ワシントンD.C.に本拠を置くコンサルタント会社、デントンズ・グローバル・アドバイザーズASGの中国担当アソシエイト・パートナー兼技術政策リーダーのポール・トリオロ氏は、「安定した長期実行可能システム内で機能できるEUV光源を作るという課題は非常に大きい」と語った。中国プロジェクト。

たとえ企業がEUV光源の製造に成功したとしても、既存の半導体製造プロセス内でそれを機能させるのは困難な場合がある、とトリオロ氏は述べた。

米国の法律は、最高級チップの商業生産のための技術の輸出を制限しているが、半導体開発を支える基礎研究に使用される一部の技術は太平洋を越えて流出し続けている。

独自の EUV 光源の開発に取り組んでいる中国の組織が、コロラド州ボールダーの KMLabs から最先端のレーザー技術を購入しているケースもあります。

政府調達記録を引用した中国マスコミの報道によると、2022年10月21日、中国中部の湖北省武漢にある華中科技大学はKMLabsからEUV光源装置を購入した。 KMLabs は、中国の Transientek という会社を含む世界中の代理店を通じて EUV 光源装置を販売しています。